６Ｇ用圧電単結晶薄膜／多層膜基板構造弾性波デバイス基盤技術の研究開発

研究課題

体系的番号	JPMJTR231C
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTR231C
企業責任者	ジオマテック株式会社
研究責任者	柳谷隆彦早稲田大学, 理工学術院, 教授
研究期間 (年度)	2023 – 2027 (予定)
概要	次世代移動通信システム6Gでは40GHz 超の周波数帯の利用が計画されているが、現状この周波数帯での弾性波フィルタが実現できていない。本研究では、これを実現するためにエピタキシャル圧電薄膜を用いたSM-BAWデバイスに着目し、そのデバイス構造の鍵である、高反射率の音響ブラッグ反射多層膜、超高周波帯で超音波の励振可能な高品質圧電単結晶薄膜およびその大口径化技術を開発する。40GHz超の弾性波デバイス実現のための基盤技術を確立し、次世代通信規格の高密度周波数活用に貢献するとともに、次世代通信規格の世界標準獲得に貢献する。