| 体系的番号 |
JPMJTR23RH |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJTR23RH |
| 研究責任者 |
高村 禅 北陸先端科学技術大学院大学, 先端科学技術研究科, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2023 – 2025 (予定)
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| 概要 | 半導体産業において、化学材料の不純物は高品質化・量産化において重要な鍵を握る。特に、洗浄や溶剤に用いられる有機溶媒の金属元素は、測定困難にもかかわらずng/Lレベルでの管理が要求される。本研究では、国内で発明された溶存イオン抽出デバイス（ITD）と液体電極プラズマ発光分析法（LEP）の融合により超微量金属元素を前処理なしにオンサイトで連続モニタリングする手法を開発する。ITDで有機溶媒からLEPに適した溶液へ抽出・インライン濃縮し、LEPへ直接導入して検出する。まず、有機溶媒対応型ITDとアキシャル検出による高感度LEPをそれぞれ確立し、融合したシステムを構築して評価し本法の有効性を実証する。
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