新規圧電単結晶（Ca3TaGa3Si2O14）を用いた高安定・高性能SAW基板構造の開発

研究課題

体系的番号	JPMJSF23CT
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSF23CT
研究代表者	垣尾省司山梨大学, 大学院総合研究部, 教授
研究期間 (年度)	2023 – 2024
概要	新規圧電単結晶Ca3TaGa3Si2O14(CTGS)を支持基板として，LiNbO3，あるいはLiTaO3を薄板として接合させた基板構造を提案し，ゼロ温度係数，5%以上の共振比帯域幅，1000以上のQ値を有するSAW共振子を開発し，高安定・高性能なスマートフォン向けフィルタとしての実用可能性を検証する．

主な研究成果