新規圧電単結晶(Ca3TaGa3Si2O14)を用いた高安定・高性能SAW基板構造の開発
体系的番号 |
JPMJSF23CT |
DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSF23CT |
研究代表者 |
垣尾 省司 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授
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研究期間 (年度) |
2023 – 2024
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概要 | 新規圧電単結晶Ca3TaGa3Si2O14(CTGS)を支持基板として,LiNbO3,あるいはLiTaO3を薄板として接合させた基板構造を提案し,ゼロ温度係数,5%以上の共振比帯域幅,1000以上のQ値を有するSAW共振子を開発し,高安定・高性能なスマートフォン向けフィルタとしての実用可能性を検証する.
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