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次世代デバイスの品質保証のためのX線イメージングデバイスの開発

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 ACT-X

体系的番号 JPMJAX23K8
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJAX23K8

研究代表者

木村 大海  産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員

研究期間 (年度) 2023 – 2025
概要現在、デジタル社会を支える半導体デバイスは高機能化に伴う素子の微細化および三次元化が進んでいます。今後さらに複雑化する素子の品質管理を行うためには、検査技術の高度化が必要不可欠です。本研究では透明セラミックシンチレータの合成技術を適応した高感度かつ高空間分解能のX線イメージングデバイスを開発することで、高精度かつ高効率な非破壊検査の実現を目指します。
研究領域リアル空間を強靭にするハードウェアの未来

報告書

(1件)
  • 2023 年次報告書 ( PDF )

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2023-12-27   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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