次世代デバイスの品質保証のためのX線イメージングデバイスの開発
| 体系的番号 |
JPMJAX23K8 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJAX23K8 |
研究代表者 |
木村 大海 産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員
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| 研究期間 (年度) |
2023 – 2025
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| 概要 | 現在、デジタル社会を支える半導体デバイスは高機能化に伴う素子の微細化および三次元化が進んでいます。今後さらに複雑化する素子の品質管理を行うためには、検査技術の高度化が必要不可欠です。本研究では透明セラミックシンチレータの合成技術を適応した高感度かつ高空間分解能のＸ線イメージングデバイスを開発することで、高精度かつ高効率な非破壊検査の実現を目指します。
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| 研究領域 | リアル空間を強靭にするハードウェアの未来 |
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