計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムの開発

研究課題

体系的番号	JPMJCR2336
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJCR2336
研究代表者	吉田隆名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2023 – 2028
概要	強相関電子系材料の単結晶基板上でのヘテロエピ薄膜成長を念頭に、先端マルチ計測、モンテカルロシミュレーション、ベイズ最適化によって加速的に薄膜作製プロセスの最適化を実現する計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムを開発します。さらに、開発した最適化システムの技術移植性を複数成膜装置において実証し、多層膜、ナノコンポジット薄膜、および実用エネルギー材料へのユースケース展開を行います。
研究領域	社会課題解決を志向した革新的計測・解析システムの創出

主な研究成果
(5件)

すべて 2024

すべて雑誌論文 (5件) (査読あり 5件、オープンアクセス 3件)

[雑誌論文] Suppression of grain boundary weak link by Ca doping in YBa2Cu3O7 coated conductor2024
- 著者名
  Kentaro Yamamoto, Yutaka Yoshida and Tomoya Horide
- 雑誌名
  
  Supercond. Sci. Technol
  
  巻: 37 ページ: 095020
- 査読あり / オープンアクセス
[雑誌論文] Monte Carlo simulation study on BaMO3 nanostructures in BMO-doped REBa2Cu3Oy thin films prepared by the vapor?liquid?solid technique2024
- 著者名
  Tomonori Arita, Yusuke Ichino, Tomoya Horide and Yutaka Yoshida
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 63 ページ: 103001
- 査読あり / オープンアクセス
[雑誌論文] Effect of Oxygen Annealing on RE123 Superconducting Film Inferred From Changes in Microstructure2024
- 著者名
  Ataru Ichinose, Shuntaro Yamazaki, Kaname Matsumoto, Yusuke Ichino, Keiichi Horio, Tomoya Horide, Yutaka Yoshida
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Applied Superconductivity
  
  巻: 35 号: 5 ページ: 7500205
- 査読あり
[雑誌論文] Monte Carlo Study on Crystal Growth of BMO-Doped REBCO Films Affected by Growth Conditions2024
- 著者名
  Y. Ichino, T. Arita, Y. Seike, N. Taoka, T. Mori, K. Horio, A. Ichinose, T. Horide, K. Matsumoto, Y. Yoshida
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Applied Superconductivity
  
  巻: 35 号: 5 ページ: 6600904
- 査読あり
[雑誌論文] Critical current density properties of thick YBa2Cu3Oy?films with different thicknesses2024
- 著者名
  S. Ito, M. Kiuchi, T. Horide, Y. Yoshida
- 雑誌名
  
  Physica C
  
  巻: 634 ページ: 1354734
- 査読あり / オープンアクセス

計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムの開発

研究代表者

吉田 隆 名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授

主な研究成果

[雑誌論文] Suppression of grain boundary weak link by Ca doping in YBa2Cu3O7 coated conductor2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Monte Carlo simulation study on BaMO3 nanostructures in BMO-doped REBa2Cu3Oy thin films prepared by the vapor?liquid?solid technique2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Effect of Oxygen Annealing on RE123 Superconducting Film Inferred From Changes in Microstructure2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Monte Carlo Study on Crystal Growth of BMO-Doped REBCO Films Affected by Growth Conditions2024

著者名

雑誌名

[雑誌論文] Critical current density properties of thick YBa2Cu3Oy?films with different thicknesses2024

著者名

雑誌名

吉田隆名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授