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計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムの開発

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 CREST

体系的番号 JPMJCR2336
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJCR2336

研究代表者

吉田 隆  名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授

研究期間 (年度) 2023 – 2028
概要強相関電子系材料の単結晶基板上でのヘテロエピ薄膜成長を念頭に、先端マルチ計測、モンテカルロシミュレーション、ベイズ最適化によって加速的に薄膜作製プロセスの最適化を実現する計測データ駆動型薄膜プロセス最適化システムを開発します。さらに、開発した最適化システムの技術移植性を複数成膜装置において実証し、多層膜、ナノコンポジット薄膜、および実用エネルギー材料へのユースケース展開を行います。
研究領域社会課題解決を志向した革新的計測・解析システムの創出

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2023-12-27   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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