MEMS差圧センサ素子を利用した波高センサの研究開発

研究課題

体系的番号	JPMJST2458
研究代表者	高橋英俊慶應義塾大学, 理工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2024
概要	超高感度なMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の1種、ピエゾ抵抗型カンチレバーをセンサ素子とする差圧センサを利用して、低価格化・低消費電力化・小型化という課題を解決する波高センサを開発する。さらに、製品化が可能なレベルのデバイスの開発によって、MEMS差圧センサのアプリケーションの実用化を行う企業への技術移転を目指す。