| 体系的番号 |
JPMJAN24E2 |
研究代表者 |
長野 方星 名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2024 – 2027
|
| 概要 | 本研究では、3DIC内の各層で発生する局所的な発熱（ホットスポット）をピンポイントで効率的に放熱するため、高い実効熱伝導率を有し、無電力で動作する新型の超熱伝導デバイス（μループヒートパイプ、μLHP）による抜熱手法を提案する。これを実現するため、μLHPの設計、製造、評価技術および半導体内での実装技術を確立し、熱的制約が課題であった3DICの高密度実装に対するブレイクスルーを目指す。
|
|---|
| 研究領域 | 半導体 |
|---|
