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超熱伝導μLHPを内蔵した3DIC放熱技術の創出

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 ALCA-Next

体系的番号 JPMJAN24E2

研究代表者

長野 方星  名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授

研究期間 (年度) 2024 – 2027
概要本研究では、3DIC内の各層で発生する局所的な発熱(ホットスポット)をピンポイントで効率的に放熱するため、高い実効熱伝導率を有し、無電力で動作する新型の超熱伝導デバイス(μループヒートパイプ、μLHP)による抜熱手法を提案する。これを実現するため、μLHPの設計、製造、評価技術および半導体内での実装技術を確立し、熱的制約が課題であった3DICの高密度実装に対するブレイクスルーを目指す。
研究領域半導体

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2024-12-19   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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