1. 前のページに戻る

情報と計測の融合による半導体デバイス3次元実装技術の革新

研究課題

戦略的な研究開発の推進 戦略的創造研究推進事業 CREST

体系的番号 JPMJCR2432

研究代表者

橋新 剛  熊本大学, 大学院先端科学研究部, 准教授

研究期間 (年度) 2024 – 2029
概要3次元積層半導体において信号伝達を担うシリコン貫通電極(TSV)の不良に影響する因子を特定し、TSV形成における製造プロセスを最適化します。マルチスケールの計測データから不良化因子を抽出し、それで定義したデバイス性能関数を用い、TSV形成の主要プロセス(RIE、CVD、めっき等)の最適パラメータを推定します。本方法論の有効性は人工視覚用デバイスで実証し、他の半導体製造プロセスへの展開を目指します。
研究領域社会課題解決を志向した革新的計測・解析システムの創出

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2024-12-19   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst