| 体系的番号 |
JPMJTR24RE |
| 研究責任者 |
道根 百合奈 電気通信大学, レーザー新世代研究センター, 特任助教
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| 研究期間 (年度) |
2024 – 2026 (予定)
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| 概要 | 本研究は、高強度レーザー用気体光学素子を社会実装に向け展開させる技術開発を行う。我々が開発したオゾン混合ガス光学素子は、すでに2桁以上強いレーザー強度での使用やレーザー加工などで課題となっている光学素子のデブリ汚染を解決できる手法となっている。ここではその基礎技術を発展させ、産業界から寄せられているリクエストを元に、半永久使用可能なクローズサイクル型のオゾンガスセルの開発、原材料費フリーな作動気体リサイクリングによる気体光学素子システムの実証、空気を媒体とする波長193nmレーザーまで使用可能な深紫外気体光学素子の開発を行い、産業展開が見通せる素子技術としての位置を確立させる。
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