| 体系的番号 |
JPMJAN25E1 |
研究代表者 |
木野 久志 九州大学, 大学院システム情報科学研究院, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2025 – 2028
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| 概要 | カーボンナノチューブ(Carbon Nanotube : CNT)などの低次元材料を用いた半導体素子はサブナノメートル世代以降の半導体集積回路を構成する素子として期待が寄せられている。本研究ではCNTの固相成長技術を確立することで、リソグラフィ技術に基づくトップダウンプロセスに対応したCNTトランジスタの作製技術基盤を開発し、CNTトランジスタで構成される大規模集積回路の実現に貢献する。
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| 研究領域 | 半導体 |
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