3次元高感度・無磁場動作可能な薄膜熱流センサーの開発

研究課題

体系的番号	JPMJTR25TA
研究責任者	田辺賢士豊田工業大学, 工学部, 准教授
研究期間 (年度)	2025 – 2027 (予定)
概要	本研究は、3次元構造を利用して薄膜熱流センサーの高感度化と高保磁力化、そして高曲げ耐性化の研究を行うものである。現代社会における、エネルギー消費量の飛躍的な上昇に伴い、廃熱マネジメント技術の確立が喫緊の課題となっている。熱流センサーは、そのような状況において、単なる補助的な存在ではなく、熱設計、冷却制御などにおいて中核的な役割を担う。薄膜熱流センサーの研究は、近年活発に研究が進んでいるものの、これまでの材料開発に基づいた研究では、高感度化に限界があった。そこで本研究ではナノインプリント法を用いることで、3次元構造を実現し、他に類を見ない高感度化の実現を目指している。