6G・7G先端半導体デバイス用高周波半導体積層材料の非破壊非接触評価を実現する高性能テラヘルツ波エミッション顕微鏡の開発

研究課題

体系的番号	JPMJTR25R7
研究責任者	紀和利彦岡山大学, 学術研究院ヘルスシステム統合科学学域, 教授
研究期間 (年度)	2025 – 2027 (予定)
概要	6G・7G先端半導体デバイスに必要不可欠な超高周波積層半導体材料の評価・検査のため、レーザー励起テラヘルツ波(THz)エミッション顕微鏡(LTEM)の高度化を実現する。LTEMは、研究グループが世界に先駆けて開発した半導体デバイス・材料非破壊検査装置である。本研究では目的達成のために、計測視野大面積化、評価可能薄膜積層数の拡大、超高周波積層膜物性分布評価を実現する。この成果により、6G・7G先端半導体デバイスの歩留まり向上、コスト低減、性能向上が可能となり、サイバー空間とフィジカル空間が高度に融合した超スマート社会の実現を加速する。