体系的番号 |
JPMJER9903 |
DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJER9903 |
研究代表者 |
細野 秀雄 東京工業大学, 応用セラミックス研究所, 助教授
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研究期間 (年度) |
1999 – 2004
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概要 | 酸化物は、資源的に豊富で、大気雰囲気で安定であり、環境にやさしい化合物群です。こうした酸化物のもつ光学的透明性という本来的な特徴を生かしつつ、そのアクティブな電子機能を探求することを目標に研究を行いました。特に、層状化合物、ナノポーラス化合物など自然ナノ構造を内蔵する化合物に着目して材料の探索を行い、「広範囲に亘って電子キャリヤの制御可能な複合酸化物(InGaO3(ZnO)m」「p 型高伝導率化合物(LaCuOSe)」、「紫外透明伝導体(Ga2O3)」、「真空紫外透明ガラス(フッ素ドープシリカガラス)」、「光誘起で導電体化する透明典型金属酸化物(C12A7:H-)」、「活性酸素を大量に含んだ化合物(C12A7:O-)」、「室温・大気中で安定なエレクトライド」などの機能性化合物を見出すことに成功しました。さらに、「反応性固相エピタキシャル法」と名付けた独自の方法などにより、それら化合物の高品質エピタキシャル膜を育成し、「紫外発光ダイオード」、「高性能透明薄膜トランジスタ」、「O- ビーム発生装置」、「深紫外光ファイバー」などの新機能デバイスを試作し、「透明酸化物エレクトロニクス」の新しいフロンティアを開拓しました。
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