シリコン超微粒子の量子効果を探求する

研究課題

体系的番号	JPMJPR92F2
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR92F2
研究代表者	小田俊理東京工業大学, 工学部, 助教授
研究期間 (年度)	1992 – 1995
概要	プラズマCVD法において原料ガスをパルス供給するディジタルプロセスにより結晶粒径を制御したシリコン超微粒子を作製し、分光学的手法を用いて超微粒子間の量子力学的相互作用を含む3次元量子効果を解析します。
研究領域	構造と機能物性