電子線リソグラフィーによる炭素系ハイブリッド構造膜の創製と高機能化
| 体系的番号 |
JPMJPR01N1 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJPR01N1 |
研究代表者 |
岩村 栄治 株式会社神戸製鋼所, 材料研究所, 研究員
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2001 – 2004
|
| 概要 | 電子線を用いた局所構造制御の原理を確立し、アモルファスカーボン薄膜中にグラファイトクラスター、カーボンオニオンやCNTなどの秩序化構造を導入した3次元的ハイブリッド膜を創製します。これらの構成ユニットの秩序性や次元性に起因した物性とサイズ効果や周期性および構造異方性とを組合せて高機能化を実現します。
|
|---|
| 研究領域 | 秩序と物性 |
|---|
