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低誘電率BCN膜成膜装置

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 平成20年度までに募集を終了した事業 委託開発

体系的番号 JPMJTT0414
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTT0414

研究代表者

杉野 隆  大阪大学, 大学院工学研究科, 教授

企業責任者 株式会社ワコム電創
研究期間 (年度) 2004 – (非公開)

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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