触媒CVDによるシリコン成膜装置

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業平成20年度までに募集を終了した事業委託開発

体系的番号	JPMJTT9708
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTT9708
研究代表者	松村英樹北陸先端科学技術大学院大学
企業責任者	アネルバ株式会社
研究期間 (年度)	1997 – (非公開)