金属磁性材料用反応性イオンエッチング技術

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業平成20年度までに募集を終了した事業委託開発

体系的番号	JPMJTT9711
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTT9711
研究代表者	中谷功金属材料技術研究所
企業責任者	アネルバ株式会社
研究期間 (年度)	1997 – (非公開)