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低速・軽イオン励起特性X線の精密分析技術

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN04B6
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN04B6
研究責任者 古屋 一夫  (独)物質・材料研究機構, 超高圧電顕共用ステーション, ステーション長
研究期間 (年度) 2004 – 2006
概要数k~数十keVのエネルギーを持つ正電荷のイオンを、非電気伝導体の物質に照射することにより発生する低エネルギーのX線を測定することで、これまで極めて難しかった物質中のホウ素、炭素、窒素、酸素等の軽元素を高感度で分析する技術を確立します。本技術は小型の収束したイオンビームを用い、X線の新しい検出方式を実用化することで可能となり、他の分析機器とも容易に組み合わせて使用できるものです。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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