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大型超精密ステージの駆動反力相殺用カウンターマスフリー制御技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

橋本 誠司  群馬大学, 工学部, 助教授

研究期間 (年度) 2006
概要半導体製造用超精密ステージは,搭載するウェハサイズの拡大とともに大型化している。これに起因しステージ可動部の制御反力から,精密ステージを搭載する除振台の振動問題が顕在化してきている。この制御反力相殺に,カウンターマスを装着し逆駆動する手法が現在の主流であるが,装置の大型・高コスト化は著しい。本研究では,位置制御系と力制御系で制御剛性が異なること,ならびにステージ駆動力情報とその動特性を利用し,除振台アクチュエータにより反力相殺のための力制御系を構成し等価的に“ステージ重心移動無し”の状態(重心位置制御系)を実現する。これにより物理的なカウンターマスを不要化する新しい制御技術の開発を行う。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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