| 概要 | 代表研究者は,ゼロパワー制御を施した磁気浮上系(ゼロパワー磁気浮上機構)が直動外乱に対しては「負のばね剛性」を持っているかのように動作することに着目して,振動絶縁性能を損なうことなく,直勤外乱に対しては無限大の剛性を持つ除振装置を発案している.本課題では,この方式の除振装置の実用化を進展させるため,従来の空気ばねと同様に一つの構成部品として扱うことができ,かつ大面積・大質量の除振テーブルにも対応できる除振ユニットを開発する.具体的には,正の剛性を持つ通常のばねと負の剛性を持つゼロパワー磁気浮上機構とを中間台を介して直列に接続した支持機構及びこの支持機構と並列に重力補償用の荷重支持機構を備えた除振ユニットを開発する.
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