高静水圧環境を利用した無欠陥超精密切削加工装置の開発

研究課題

研究代表者	吉野雅彦東京工業大学, 理工学研究科機械制御システム専攻, 助教授
研究期間 (年度)	2006
概要	本研究はシリコンやガラスなどの硬脆材料を安定して効率良く加工するために、4000 気圧の高静水圧環境下で超精密切削加工するNC 切削加工装置を開発することを目的としている。通常、硬脆材料は研磨加工により仕上げられるため、平面もしくは球面しか作れない。そのため近年、NC 制御による超精密切削加工により任意の曲面を加工する技術が検討されている。ところが脆性材料では容易に加工欠陥が発生するため加工条件の設定が難しく超精密切削による仕上げ加工は実用化していない。そこで本研究では高静水圧による加工欠陥抑制効果を利用し硬脆材料を無欠陥超精密加工する装置を開発する。