大気圧プラズマCVDによる高分子材料用超高速バリアコーティング

研究課題

研究代表者	野崎智洋東京工業大学, 大学院理工学研究科
研究期間 (年度)	2005
概要	大気圧・常温においてグロー放電状の反応性非平衡プラズマを形成する技術を確立し,プラスチックフィルムに代表される高分子材料表面にSiO2バリア薄膜を超高速(巻取り速度:100m/min以上,膜厚:10-100nm)でコーティングするための技術開発を行う。