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大気圧プラズマCVDによる高分子材料用超高速バリアコーティング

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

野崎 智洋  東京工業大学, 大学院理工学研究科

研究期間 (年度) 2005
概要大気圧・常温においてグロー放電状の反応性非平衡プラズマを形成する技術を確立し,プラスチックフィルムに代表される高分子材料表面にSiO2バリア薄膜を超高速(巻取り速度:100m/min以上,膜厚:10-100nm)でコーティングするための技術開発を行う。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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