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大気圧プラズマCVDによる高分子材料用超高速バリアコーティング
研究課題
産学が連携した研究開発成果の展開
研究成果展開事業
地域事業
地域イノベーション創出総合支援事業
シーズ発掘試験
研究代表者
野崎 智洋
東京工業大学, 大学院理工学研究科
研究期間 (年度)
2005
概要
大気圧・常温においてグロー放電状の反応性非平衡プラズマを形成する技術を確立し,プラスチックフィルムに代表される高分子材料表面にSiO2バリア薄膜を超高速(巻取り速度:100m/min以上,膜厚:10-100nm)でコーティングするための技術開発を行う。