概要 | 現在,産業界では様々な用途でプラズマ処理が使用されているが,そのほとんどは真空容器中で行われている。処理効率を考えると真空容器を必要としない大気圧処理が理想的であるが,大気圧中で安定な大型プラズマを生成する事は容易ではない。本応募課題では,大気圧下で高速プラズマ処理を可能とする大気圧プラズマイオン・電子源の開発を目的に、試作実験を通して方式・装置の実現性を検証する。本課題でのプラズマ源サイズは,印刷工程や塗装面等の処理への応用の展開を可能とする実用的なミニマムサイズを想定して1 メートル×数センチの長方形とし,より大面積化の可能性も検討する。
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