金属ペーストを用いたカーボンナノチューブ生成によるパターン配線の形成

研究課題

研究代表者	佐藤健新潟県工業技術総合研究所, レーザー・ナノテク研究室, 主任研究員
研究期間 (年度)	2006
概要	焼結により金属ナノ粒子を析出する導電ペーストをカーボンナノチューブ(CNT)の成長触媒に利用することにより、基板上に金属/CNT の2層構造の導体を形成する。これにより、低抵抗、低発熱の電子/電気配線用導体薄膜の形成手法を開発する。