| 概要 | ○新規性:砥粒を溶媒(油など)に懸濁させた研磨液を微細穴内面に流しながら強力超音波振動を付加することで,研磨液中の砥粒の分散効果・超音波放射エネルギーによる研磨液の穴内面流動性を良くする効果で,砥粒の穴内面の擦過作用が働き微細穴内面を仕上げられる独自の方法.○実用化の可能性:基礎研究によって直径0.1mmの微細穴仕上げの可能性を見出しており,砥粒・溶媒(油など)の工夫によって下記の目標達成は可能であると考える.○実施内容とその目標: 微細金型の仕上げを目標に直径0.1mm以下の穴の内面研磨,丸以外の穴の仕上げについて検討する.目標とする穴内面の表面粗さは1μmRz 以下,仕上げ時間30 分以内とする.
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