スパッタ法による光触媒機能を有した酸化チタン膜の実用化研究

研究課題

研究代表者	氷見清和富山県工業技術センター, 企画情報課, 主任研究員
研究期間 (年度)	2006
概要	光触媒機能を有した酸化チタンは、光照射により有機物分解特性と超親水性を発揮することから、環境浄化・抗菌製品やサイドミラー等の安全製品への利用に大変に注目されている。現在、使用されている光触媒材料の殆どが塗布などによるウエットコーティング方法であるが、ナノレベルで大面積を均一にコーティングするにはスパッタ法が有利である。また、露出した表面の殆どで光触媒膜が形成されることから、高性能を発揮する。しかし、まだ国内では非加熱かつスパッタ法による大面積への成膜の実用化はされていない。そこで、スパッタ法により実験レベルで非加熱による光触媒酸化チタンの低温成膜に成功した我々の技術を応用して、困難とされている大型スパッタ装置による表面処理の可能性を探索する。