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面逐次法による平面度測定システムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

神谷 和秀  富山県立大学, 工学部知能デザイン工学科, 講師

研究期間 (年度) 2006
概要ナノテクと総称される最先端の研究も、実験装置などの製作においては、サブミクロンオーダでの機械加工および組立などを抜きにしては語れない。本研究では、特に高精度な機械工作を行う場合、平面基準となる定盤の平面度を簡便な装置で校正するシステムの開発を目指す。具体的には、2軸の傾斜を同時に計測可能な3本足で構成される傾斜計(面逐次法)を導入することで、測定精度を落とさず、かつ測定にかかる手間を減少させ、短時間で高度な評価を行えるシステムの開発を行う。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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