プラズマを用いた高分子薄膜による金属表面改質技術の開発と応用

研究課題

研究代表者	岩森暁金沢大学, 大学院自然科学研究科, 助教授
研究期間 (年度)	2006
概要	新規性・独創性:本課題は可撓性を有する金属などの薄板に潤滑性を付与した機械材料を提供することにある。プラズマを用いた薄膜形成技術は、ごく薄い均質な膜を基板との密着性良く形成できる点に特長がある。たとえばDLC やTiN などの無機薄膜を金属にコーティングすることで潤滑性の向上や硬質化を図った例が報告されている。しかし高分子薄膜形成により潤滑性の向上を試みた例はほとんどない。実用化の可能性:前述の無機材料は脆性材料で可撓性が求められる分野には適していないが、高分子薄膜であれば可撓性が要求される精密機械材料への応用も可能になる。実施内容とその目標:高周波スパッタリングなどのプラズマを用いた成膜技術を応用して基板との密着性に優れた高分子薄膜形成技術を開発し、潤滑性に優れた機械材料を開発する。