イオン注入技術による新規マルチファンクショナル材料の創製～MEMS用カンチレバーの動作温度の精密制御～
研究代表者 |
作道 訓之 金沢工業大学, 工学部
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| 研究期間 (年度) |
2005
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| 概要 | センサー機能とアクチュエーター機能をあわせ持つTiNi形状記憶合金は、まさにマルチファンクショナル材料の典型で、MEMS分野、医療分野、IT関連分野などに応用されており、社会ニーズも極めて大きい。しかしながら、本合金のセンサー機能とアクチュエーター機能は材料の組成や格子欠陥量の微妙な変化に大きく影響を受けることから、従来技術の延長線上による開発法では、市場の求める更なる高機能化・多機能化は難しい。(例えば、0.1at%の組成のずれで形状回復温度が約10°C変化してしまう)。しかるに申請者らによるイオン注入技術は極微小領域の組成や格子欠陥量の精密制御が可能であり、本提案ではこの技術を薄膜の形状記憶合金に応用することで、新規な多機能材料の創製とデバイス開発を目指す(図参照)。具体的には、TiあるいはNiイオンの注入量や注入エネルギーを変えて処理したTiNi形状記憶合金を試作し、TiNi形状記憶合金の機能におよぼす注入条件の影響を定量的に明らかにしながら、カンチレバーなどのマイクロアクチュエーターの試作を行う。一方で従来の複数の機能をマルチファンクショナル素子として1つにまとめる手法を検討する。
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