Proxi-Visionセンサの開発

研究課題

研究代表者	北川章夫金沢大学, 自然科学研究科電子情報科学専攻情報システム講座
研究期間 (年度)	2005
概要	高周波発振器の発振周波数が配線負荷インピーダンスによって変化する現象を利用し、発振器の周波数をカウントすることによりチップ表面と被観測物体の距離の変化を高精度に測定する技術を提案する。このセンサの変位計測回路はCMOS構成では26トランジスタで構成できるため、各センサの回路を小型化しアレイ状に集積化することで、チップ上に乗った微小物体の画像化を可能とするセンサチップがProxi-Visionセンサである。同センサを大規模集積化し、センサ単体と同等の感度が達成され、高精細画像が得られるか実証する。さらに、ナノメートルレベルの距離計測用のセンサも試作・評価する。