レーザーによる2光束法と総和法をハイブリッドした表面変位測定システム

研究課題

研究代表者	上田正紘福井大学, 教育地域科学部
研究期間 (年度)	2005
概要	?測定物表面に照射したレーザー光の散乱反射を2光束に分離し、各焦点近傍に設置したピンホールを通過する光強度から表面の変位量をμmオーダーで測定する技術(2光束法)?測定表面に垂直照射したレーザー反射光の受光面における位置から傾き情報と、照射位置の微小な移動量との積を測定面全域に総和することにより、表面のうねり等の3次元形状をnmオーダーで測定する技術(総和法)上記?および?の技術を複合することにより、表面状態が散乱体か鏡面かにとらわれない万能変位センサーの開発を課題とするものである。