大強度ナノサイズ近接場光を生成するプラズモンプローブの開発

研究課題

研究代表者	田中嘉津夫岐阜大学, 工学部応用情報学科, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	強度が入射波の約1000 倍を持つ近接場光生成開口プローブの試作・実験を行う。右図は、金属(銀)薄膜を素材とするI形状開口+ピラミッド構造プローブにおけるスポットサイズが約1/50 波長のシミュレーション例である(白線が開口断面形状)。既存の開口プローブでは図のような大強度・ナノサイズ近接場光生成は不可能で、申請者らの独創的アイデアを使い試作する。この近接場光開口プローブは走査型光学顕微鏡、光ディスクヘッド、センサー等の性能を飛躍的に向上できる。また近年のナノ加工技術を利用すれば、右図の開口構造を製作するのは可能である。図のような開口構造を製作委託し、大強度・ナノスポットサイズ近接場光が実際に生成されることを確認する。