| 概要 | 本課題は,様々な液体物質をナノスケールにて基板表面に滴下・塗布加工できるものである。滴下塗布量としては0.1 アトリットル(10-18L)以下の量制御を実現する。この技術は極細なプローブを利用し、表面上を走査して高分解能で表面観察可能な走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)を発展的に開発することで実現させる。このSPMのプローブとして先端にナノスケールでの開口を有するナノピペットプローブを製作し,様々な物質をプローブ内に充填可能にすることで先端開口より基板上任意の位置に物質を滴下・塗布した堆積加工を可能にする。このように様々な液体を充填可能なナノピペットプローブ技術を開発することで従来のプローブでスクラッチ加工するような除去加工中心だったSPM技術とは大きく異なる多機能性を実現し、ナノスケール造形、デバイス作製,バイオ試料作製装置など幅広い応用を可能にする。
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