イオン制御プラズマCVDを用いたカーボンナノチューブ低温合成法の開発

研究課題

研究代表者	永津雅章静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	本申請では、従来の高温下(700°C以上)で行われるカーボンナノチューブ(CNT)の合成法とは画期的に異なる、常温下で合成が可能なイオンエネルギー制御プラズマ気相成長法(プラズマCVD)を用いた新規CNT合成法を提案する。これまでに予備実験を実施し、100°C程度の基板温度でCNTの合成が可能であることを確認した。また、CNTの細線化も触媒クラスターの微細化により実現できることを示した。本研究では、さらにCNT低温合成技術の実用化に向けた検証を行うため、プラスチック材あるいはガラス基板上の所望の空間にCNTを選択的に合成するための試験研究を実施する。