単独付着および長さ調整した2層ナノチューブ高性能AFM探針の開発

研究課題

研究代表者	菅井俊樹名古屋大学, 物質科学国際研究センター, 助手
研究期間 (年度)	2006
概要	半導体産業を挙げるまでもなく、ナノレベルの計測と微細加工は国家の基幹技術であり、日本が技術立国として勝ち抜くために必要不可欠である。このために原子間力顕微鏡(AFM)の性能向上は重要であるが、従来はAFM 探針を図1(A)のようにマクロ物質である珪素や太い多層ナノチューブ(MWNT)で製作したため、性能が十分ではなかった。本申請では図1(B)のように高性能探針をナノ物質である2層ナノチューブ(DWNT)を用いて開発する。DWNT は、他のナノチューブにはない細さと高い耐久性を合わせ持つ特異なナノ物質である。我々は、DWNT 一本をAFM 探針素材に付着・固定させ、しかも長さを制御する技術を開発し、ナノ計測・加工に不可欠な高分解能と高耐久性を併せ持つ、高性能探針を実現する。