| 概要 | 樹脂の表面処理法として,環境問題(廃液問題)を有している従来の湿式法に代わり,プラズマを用いた乾式法の確立が要求されでいる。しかしながら,実用化に当っては不純物フリーのプロセスであること,および大面積処理あるいは複数同時並行処理が可能なことという点が求められている。本試験研究では,これらの要求に答える大気圧マルチプラズマ発生装置を実用化に向けて試験開発することである。主要な具体的課題は,以下の3つである。?不純物の発生を抑制したプラズマ装置の開発。?難処理性樹脂(アクリル、フッ素系樹脂)の処理の実現。?安全で取り扱い安く,かつ機能的なマルチプラズマ発生用パルス電源の開発。
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