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高品質強誘電体膜の環境低負荷型厚膜化プロセス開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

坂本 渉  名古屋大学, エコトピア科学研究所

研究期間 (年度) 2005
概要本試験研究では、環境に優しい簡便かつ低コストな化学的手法により、種々の強誘電体材料の実用化へのブレークスルーとなる厚膜化プロセスを開発し、発現する諸特性を正しく評価して実用化への問題点と対策を明らかにすることを目的とする。ここでは、従来の薄膜作製技術からその厚膜化を達成するために必要なコーティング用前駆体溶液の設計、高品質化のためのコーティング条件(基板の選択も含む)および結晶化処理条件(従来のバルク材料よりも大幅に低温化)など作製条件の最適化、さらに高機能化のための結晶成長方位制御をも達成するシーズ育成試験研究を目指す。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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