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非極性窒化アルミニウム基板作製技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

三宅 秀人  三重大学, 工学研究科, 准教授

研究期間 (年度) 2009
概要深紫外領域をターゲットとしたAlGaN系の発光・受光素子への期待が高まっているが、その基板としてAlN基板結晶が強く求められている。本研究では、発光・受光効率の高い素子構造を実現するため、非極性面であるa面およびm面AlNの厚膜成長を、HVPE法を用いて行い、その基板作製技術の開発に繋げる。HVPE成長で用いる下地結晶には、AlNと格子定数が近く、かつ市場で入手可能である6H-SiCを用いる。また、下地結晶の剥離などにより、自立基板を作製可能な技術を開発する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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