ナノ材料精密成長のためのパルス変調ガス導入型高真空CVD装置の開発

研究課題

研究代表者	佐藤英樹三重大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2009
概要	本研究では、複数の原料ガスをパルス状に変調してリアクタ内に導入することを特徴とする高品質ナノ材料(カーボンナノチューブ:CNT)生成法の開発を行う。本方法では、CVDリアクタ内へのガス流量制御を従来方法よりも精密に行うことが可能である。これにより、各原料ガスの機能をより明瞭に発現させることができ、従来よりも高効率な精密CNTプロセスの構築が可能となる。