レーザーアブレーション加工における電圧印加効果に関する試験研究

研究課題

研究代表者	山田正良京都工芸繊維大学, 大学院工芸科学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	本試験研究は、金属などの被加工物の加工時の温度上昇を低くおさえることができ加工歪みが少ないという特長を持つレーザーアブレーション加工において、被加工物に電圧を印加することによって加工時に発生するプラズマを解離して加工速度を向上させるとともに加工時に生じるドロスを積極的に除去してクリーンな加工を実現しようとするものである。これによりサブミクロンオーダーの微細加工が可能となり、電子部品等の製造に提供できる、今までにない三次元微細金型等の加工が可能となる。