1. 前のページに戻る

酸素増感-真空紫外微細加工によるボトムアップ金属微細配線

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

杉村 博之  京都大学, 大学院工学研究科, 教授

研究期間 (年度) 2006
概要高分子表面の酸素増感真空紫外(Vacuum Ultra-Violet,VUV)露光による化学活性化により、選択的金属析出を誘起し微細金属配線を形成する.従来の光微細加工技術では必要不可欠であったフォトレジスト工程を不要とし、加工工程を大幅に短縮する。また、ボトムアップ(必要な場所へ必要なだけ物質を供給する)・アプローチによる、省資源性の高い微細加工技術を提供する.技術的な有効性は確認できているが、本申請では、再現性のある実用技術を開発するために、反応機構の解明に基づく最適な加工プロセスの設計を目標とする.

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst