液化塩化水素中のオンライン微量水分検出装置の試作・評価

研究課題

研究代表者	川崎昌博京都大学, 大学院工学研究科
研究期間 (年度)	2005
概要	液化塩素はシリコンエピタキシャルや化合物半導体の製造工程で幅広く使われている。デバイスの高集積化や工場の安全確保のため、塩化水素中の微量水分のオンライン計測が緊急課題となっている。従来は赤外線吸収法や電気化学センサが用いられているが、検出感度が低く、安定性にも欠けオンライン計測が困難であった。本提案では、耐食性の反射ミラーを装着したキャビティーリングダンウン分光装置(CRDS)を試作し、液化塩素中のppmオーダの微量水分のオンライン計測の可能性を実証する。CRDSは、サンプルをレーザ発信器のキャビティ一部に導入し、多重反射を繰り返すことにより高感度が可能となる。また吸収強度の時間的減衰を計測するため安定化がはかれ、オンライン計測が実現できる。本試験研究の成果は、CRDSのもうーつの特徴である高い選択性を利用して、他の化学・半導体プロセスのオンライン計測制御に幅広く適用が期待できる。