フェムト秒レーザ光造形法による立体構造上へのパターニング手法の開発

研究課題

研究代表者	西山宏昭大阪大学, 大学院工学研究科マテリアル生産科学専攻, 大学院工学研究科助手
研究期間 (年度)	2006
概要	回折型微小光学素子は、集積性と光学特性に優れ、光ピックアップ光学系などで多用されている。一般に、回折素子は平面ガラス基板上にリソグラフィープロセスで作製されるが、近年では、素子の更なる高機能化と集積化の要求から、レンズなどの立体構造上への素子作製が強く求められている。本研究では、樹脂の3次元構造形成法として知られるフェムト秒レーザ光造形法をリソグラフィーへ適用することで、従来法では実現困難な立体構造上へのレジストパターニング手法を開発し、回折素子作製へと展開する。本課題は、微細加工法として実績のあるリソグラフィープロセスの適用範囲の大幅な拡大を狙うものであり、実用化の可能性とその波及効果は大きいと考えられる。