省エネ型金属ガラス薄膜プロセスによる低級素材の表面高機能化技術

研究課題

研究代表者	近藤勝義大阪大学, 接合研究科, 教授
研究期間 (年度)	2006
概要	金属ガラスが有する優れた耐腐食性・熱安定性(耐熱性)などの特徴を着目し、スパッタ技術を用いて低級炭素鋼の表面にZr系金属ガラス薄膜を形成し、これらの高機能転写技術の開発を行う。本提案課題ではスパッタ法における気相堆積過程での「超急冷効果」を利用し、金属ガラスと同一成分からなる複合ターゲット(構造金属元素からなる板状素材を配置)から直接、金属ガラス薄膜を基材表面に形成できる成膜プロセスを開発する。これにより、 ?Zr系合金の場合では1500°C付近までの溶解工程を不要とする省エネ・環境軽負荷型技術であり、 ?低炭素鋼やアルミ合金のような低級素形材への耐腐食性・耐摩耗性等の機能付与が可能となる。さらに、?溶解過程での不純物混入元素である「鉄」の影響を完全に解消できることで局所的にも均質な構造と優れた特性を確保できる。