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巨大誘電分極材料によるメモリ素子超高集積化の検討

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

奥山 雅則  大阪大学, 基礎工学研究科

研究期間 (年度) 2005
概要これまで用いられてきているPZT膜の標準分極量の約5倍とういう巨大な残留分極を有するBiFeO3をPLD法やCVD法により作成し、その強誘電性を評価するとともに、巨大分極発現のメカニズムを探る。さらにこの薄膜の強誘電体不揮発メモリFeRAMセンサ・マクチュエータ等のデバイス応用への可能性を探る。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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