CNT分散導電性セラミックスナノコンポジットの力学的機能改善

研究課題

研究代表者	関野徹大阪大学産業科学研究所
研究期間 (年度)	2005
概要	本研究では、静電気除去が必要な半導体作製装置用部材への適用や、金属のような放電加工を可能とする、力学的特性と電気伝導性が共生したカーボンナノチューブ(CNT)分散セラミックスナノコンポジットに関し、その破壊強度、破壊靭性、耐摩耗性といった力学的特性を更に改善することを目的として、CNTマルチナノフェーズ分散による同材料の機能向上を行う。具体的には、強度低下の要因となるCNT凝集を解消するための有機系界面活性剤の最適化を行うと同時に、強化相として種々の金属或いはセラミックスナノ粒子をCNTと同時複合化させた材料(マルチナノフェーズコンポジット)のナノ構造及びプロセスの最適化を行う。