フレキシブル有機基板上への機能薄膜の堆積とそのデバイス応用

研究課題

研究代表者	杉野隆大阪大学, 大学院工学研究科電気電子情報工学専攻
研究期間 (年度)	2005
概要	電子ペーパー、表示ボード、窓ガラスのブラインド、ディスプレー、化学センサーなどに必要な機能(エレクトロクロミック、フォトクロミック特性、ナノ微細構造など)を創出できる新しい材料膜をガラス基板やフレキシブル有機材料基板上に形成する技術を開発し、前記デバイス、装置の高性能化を図る。このため窒化ホウ素炭素薄膜の低温合成をリモートプラズマアシスト化学気相合成法により試み、ガラスおよびフレキシブル基板上へ合成できる基盤技術を確立する。