研究代表者 |
堀野 裕治 産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター研究チーム, イノベーションコーディネーター
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| 研究期間 (年度) |
2005
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| 概要 | 我々は、市販の装置を利用して、単結晶ダイヤモンドを合成する上で最も安定した手法であるマイクロ波プラズマCVD法を用いた結晶合成に取り組んできた。本研究では、市販合成装置の再検討・改良により合成時の問題点を明らかにし、大型ダイヤモンド単結晶の合成速度を従来の一桁以上向上する技術を開発する。大面積基板に対応する様に基板ホルダ形状を最適化することで目的を達成し、大型基板を低コストで提供するための技術を開発する。
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