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大型ダイヤモンド単結晶の高速合成技術に関する研究

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

堀野 裕治  産業技術総合研究所, ダイヤモンド研究センター研究チーム, イノベーションコーディネーター

研究期間 (年度) 2005
概要我々は、市販の装置を利用して、単結晶ダイヤモンドを合成する上で最も安定した手法であるマイクロ波プラズマCVD法を用いた結晶合成に取り組んできた。本研究では、市販合成装置の再検討・改良により合成時の問題点を明らかにし、大型ダイヤモンド単結晶の合成速度を従来の一桁以上向上する技術を開発する。大面積基板に対応する様に基板ホルダ形状を最適化することで目的を達成し、大型基板を低コストで提供するための技術を開発する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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