研究代表者 |
小舟 正文 兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 助教授
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2006
|
| 概要 | 本提案は自動車をはじめ広範な産業分野において強く要求される高温環境下で使用可能な無鉛強誘電体材料の開発に関するものである。高温スパッタリング法によりPt(100)/MgO(100)基板上にA3+B3+O3型ペロブスカイト構造を有するエピタキシャルな化合物薄膜を作製する。当該膜の圧電特性(d33)、強誘電特性及びメモリ特性を調べて圧電マイクロアクチュエータや強誘電性不揮発性メモリ(FeRAM)の素子材料への応用を検討する。
|
|---|
