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新規ビスマス系複合ペロブスカイト化合物薄膜の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 地域事業 地域イノベーション創出総合支援事業 シーズ発掘試験

研究代表者

小舟 正文  兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 助教授

研究期間 (年度) 2006
概要本提案は自動車をはじめ広範な産業分野において強く要求される高温環境下で使用可能な無鉛強誘電体材料の開発に関するものである。高温スパッタリング法によりPt(100)/MgO(100)基板上にA3+B3+O3型ペロブスカイト構造を有するエピタキシャルな化合物薄膜を作製する。当該膜の圧電特性(d33)、強誘電特性及びメモリ特性を調べて圧電マイクロアクチュエータや強誘電性不揮発性メモリ(FeRAM)の素子材料への応用を検討する。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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